规格

测量面对基面垂直度

测量面平面度或垂直度

基面平面度或直线度

精度等级(微米)

00

0

00

0

00

0

Sp400

1.6

2.6

2.4

3.9

8.0

13

Sp630

2.1

3.5

3.2

5.3

10.5

18

Sp1000

3.0

5.0

4.5

7.5

15

25

Sp1600

4.4

7.4

6.6

11.1

22

37

Sp2000

5.4

10.0

8.1

13.5

27

45